Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜真空計全量程真空計

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更新時間：2024-03-22 22:04:11瀏覽次數(shù)：257次

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產品簡介

主動式真空計CDG-500電容薄膜真空計AgilentCDG-500系列溫度補償電容薄膜真空計可在高壓區(qū)域內提供的準確度

詳細介紹

主動式真空計

CDG-500 電容薄膜真空計

Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜真空計可在高壓區(qū)域內提供的準確度?？商峁?1000 Torr 至 1 Torr (1.3–1333 mbar) 的全量程測量。

CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷隔膜，可提供超常的信號穩(wěn)定性，并具有從大氣環(huán)境中快速恢復、預熱時間短和堅固性的特點。

廣泛應用于薄膜和真空工藝、工業(yè)真空、數(shù)據(jù)存儲和半導體制造等應用。

特性

全量程為 1–1000 Torr (1.3–1333 mbar)，按鈕調零，可選設定點控制易于集成
優(yōu)異的長期信號穩(wěn)定性和重現(xiàn)性
從大氣壓下恢復迅速，啟動后迅速達到穩(wěn)定狀態(tài)，縮短了過程循環(huán)時間
采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護，確保了堅固耐用
的準確度（讀數(shù)的 0.2%）

性能指標

準確度	0.2%
響應時間	30 ms
操作環(huán)境溫度	+5 to +50 °C
烘烤溫度	110 °C
模擬輸出	0-10 VDC
電氣連接	D-Sub，15 芯，公頭
貯存環(huán)境溫度	–40 至 +65 °C