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BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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更新時(shí)間：2023-03-21 18:34:53瀏覽次數(shù)：332次

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商鋪產(chǎn)品：34條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

BPG402-Sx 大氣壓至超高真空真空計(jì)

詳細(xì)介紹

好處

  • 從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過早燒毀
  • 雙長使用壽命氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
  • 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

  • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

新聞

新！ 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！

規(guī)格

類型 BPG402-S
測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5×10-10 … 1000
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
可重復(fù)性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)  
p < 7.2="" ×="">-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓力， bar (absolute) 2
溫度  
運(yùn)行（環(huán)境） °C 0 … +50
貯存 °C -20 … +70
在法蘭處烘烤，無電子設(shè)備 BPG402-S °C 80
無電子設(shè)備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL °C 150
電源電壓 +20 … +28
輸出信號(hào)模擬  
輸出信號(hào) V 0 … +10
測量范圍 V +0.774 … +10
電壓與壓強(qiáng) volts per decade 0.75
錯(cuò)誤信號(hào) V 0.1 / 0.3 / 0.5
最小負(fù)載電阻 k? 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器  
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 1
范圍 mbar 1×10-9 … 100
繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
滯后 % of reading 10
觸點(diǎn)額定值 ≤30
數(shù)字功能 degas
接口（數(shù)字）(2) RS232C
發(fā)射控制 automatic / manual via interface
單絲 two Yt2O3 coated Ir
單絲狀態(tài)/繼電器 LED / relay
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3) m (ft.) 100 (330)
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護(hù)等級(jí) IP30
Profibus DP  
波特率 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 ≤30
Profibus DP 連接器 D-Sub, 9-pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān) kBaud 125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
電纜長度 250 kbps m (ft.) 250 (825)
電纜長度 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型 ''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊 polling only
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 mbar 1×10-9 … 100
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) n.o., potential free
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 % of reading 10
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 ≤30
DeviceNet™ 電源電壓 +11 … +25
真空計(jì)電源電壓 +20 … +28
DeviceNet™ 連接器 Microstyle, 5-pin
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-Sub, 15-pin, male
以太網(wǎng)  
以太網(wǎng)協(xié)議 protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網(wǎng)數(shù)字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information
以太網(wǎng)連接件 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度 m (ft.) ≤100 (330)

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

3）RS232C 操作 <>

零件號(hào)

BPG402-S
零件號(hào) 明細(xì)
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 真空計(jì)
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 型真空計(jì)
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 BPG402 感應(yīng)器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

附件

BPG402-S
零件號(hào) 明細(xì)
353-511 BPG400 24V電源
353-512 Baffle for BPG400
211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF

備件

BPG402-S
零件號(hào) 明細(xì)
354-494 BPG402 感應(yīng)器
354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R

數(shù)據(jù)表

手冊

手冊

三維步驟文件

其他文件

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