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SPIN200i德國POLOS勻膠機(jī)

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武漢月憶神湖科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國POLOS勻膠機(jī) SPIN200i采用了無刷式馬達(dá)，可實(shí)現(xiàn)基底片順時(shí)針、逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，擁有著比一般地有刷電機(jī)單向旋轉(zhuǎn)所沒有的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也具有著更好的耐腐蝕性，適應(yīng)于鈣鈦礦太陽能電池制備、半導(dǎo)體芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以保證旋涂過程中膠厚度的一致性和均勻性。

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	適用基片尺寸	260mm直徑圓片，6英寸方片
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍	1~12000RPM**	旋轉(zhuǎn)加速度	30000RPM/S
轉(zhuǎn)速精度	±0.1rpm

一、勻膠機(jī)工作原理：

勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater & Spin Processor) 行業(yè)俗稱：勻膠臺(tái)、甩膠機(jī)、旋涂機(jī)、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、涂層機(jī)等，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠旋涂機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

二、德國POLOS勻膠機(jī) SPIN200i產(chǎn)品概述：

SPIN200i采用了無刷式馬達(dá)，可實(shí)現(xiàn)基底片順時(shí)針、逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，擁有著比一般地有刷電機(jī)單向旋轉(zhuǎn)所沒有的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)也具有著更好的耐腐蝕性，適應(yīng)于鈣鈦礦太陽能電池制備、半導(dǎo)體芯片制造、MEMS制版的表面涂覆。且具有穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng)，可以保證旋涂過程中膠厚度的一致性和均勻性。

三、德國POLOS勻膠機(jī) SPIN200i主要性能指標(biāo)：

1、適用基板尺寸：10-260mm直徑圓片，6英寸方片；

2、旋涂腔體直徑：302 毫米；

3、旋涂轉(zhuǎn)速范圍: 1~12000RPM**，±1rpm steps；

4、旋涂加速度：1~30000RPM/S；

5、旋涂精度: ±0.1rpm；

6、程序段數(shù)：無限制；

7、操作步數(shù)：無限制；

8、旋轉(zhuǎn)時(shí)間：無限制*，±0.1 Second steps；

9、旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，順、逆時(shí)針交換擺動(dòng)；

10、擴(kuò)展接口：1個(gè)USB接口；

11、馬達(dá)保護(hù)：20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm（可關(guān)閉）；