★ 本機(jī)詳細(xì)技術(shù)參數(shù)及特點(diǎn):
1.整機(jī)設(shè)計(jì)合理緊湊,可放置手套箱里。
2.不銹鋼外殼防腐,不銹鋼涂特氟龍接膠臺(tái)及配置的內(nèi)襯,方便清理。
3.采用4.3英寸的觸摸彩色顯示屏。參數(shù)設(shè)置簡易操作。
4.的程序設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)速帶自檢功能,可糾正電機(jī)因環(huán)境和溫度變化而產(chǎn)生轉(zhuǎn)速值偏離,大大提高勻膠轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
5.穩(wěn)定轉(zhuǎn)速范圍:500~8000轉(zhuǎn)/分,可編程(9檔參數(shù)設(shè)置)。
6. 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:<±1%
7.涂膠時(shí)間范圍:1~99秒,可編程(9檔參數(shù)設(shè)置)。
8.電機(jī)功率:40W
9.數(shù)據(jù)記錄功能,能存儲(chǔ)10種旋涂程序,每步程序分8段可設(shè)置16個(gè)參數(shù)值;多達(dá)160個(gè)參數(shù)設(shè)置,方便設(shè)定速度和加速度程序段,可存儲(chǔ)可任意設(shè)置。
10. 真空托盤:具有多種材質(zhì)和規(guī)格轉(zhuǎn)換真空托盤,適合φ5~150mm,或125mm×125mm方片的基片涂覆。
11.配套無油型真空泵系統(tǒng),壓強(qiáng)抽氣速率>60L/min
12.儀器尺寸:260×220×260 mm
13.凈重:7.5Kg
SPIN-51勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝,主要應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。