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MKS I系列IE250A質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2023-10-18 12:04:12瀏覽次數(shù):167次

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產(chǎn)品簡介

IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封100-250slm質(zhì)量流量控制器I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能

詳細(xì)介紹

IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封100-250 slm質(zhì)量流量控制器

 I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm(相當(dāng)于N2)。IE250可采用模擬I / O或數(shù)字I / O,并利用的控制算法對設(shè)定點進行快速,可重復(fù)的響應(yīng)。

·        流速從100到250 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

·        1-2秒建立時間

·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%

技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍

100-250 slm(相當(dāng)于N2)

儲存濕度

0至95%相對濕度,無凝結(jié)

入口壓力

150磅/平方英寸

貯存溫度

-20°至65°C

正常工作壓力差

30至55 psid

外部泄漏完整性

<1 x 10 -9(scc / sec He)

爆破壓力

1500磅/平方英寸

封閉閥的泄漏完整性

在40 psia至vac時<1.0%滿量程(<500 mTorr)

控制范圍

滿量程的2%至100%

濕材料

316 SS,17-1 SS,Elgiloy,430FR(標(biāo)準(zhǔn))

典型精度

滿量程的20%至100%時為設(shè)定值的±1%
滿量程的5%至20%時為滿量程的±0.25%

密封材料

Viton®(VI級)或EPDM(VI級)

重復(fù)性

讀數(shù)的±0.5%

表面處理

平均Ra 16 µinch

解析度

讀數(shù)的0.1%

重量

4.5磅 (2.05公斤)

零溫度系數(shù)

<滿量程的0.05%/°C

外殼等級

IP66

跨度溫度系數(shù)

<0.08%的Rdg./°C

合規(guī)

CE認(rèn)證

進氣壓力系數(shù)

<讀數(shù)的0.03%

電源要求

+15至+24 VDC @(<4瓦)

典型建立時間

通常在50 psi的10%滿刻度以上需要1到2秒

流量輸入輸出信號

電壓:0至5 VDC
電流:4至20 mA

熱身時間

1小時

模擬量I / O連接器

電壓:15針“ D"型公頭
電流:15針“ D"型公頭

工作溫度

10°至50°C



特征

快速建立時間

1至2秒的穩(wěn)定時間和低于設(shè)定點1%的設(shè)定點精度優(yōu)于其他典型的高流量質(zhì)量流量控制器。精確控制保持在IE250A配置的滿量程流量范圍的2%。多氣體/多量程功能,以及針對精度,控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格,使用戶可以地減少高流量MFC零件編號的庫存。

多氣體/多量程功能

可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能(以及其他自定義控件),而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運行狀況檢查,繪制流量響應(yīng)并存儲操作數(shù)據(jù)以進行離線分析。

 


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