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MKS GM100A數字控制質量流量控制器

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更新時間：2023-10-17 12:13:25瀏覽次數：200次

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產品簡介

多氣體，多量程，金屬密封的50至100slm質量流量控制器G系列GM100A數字控制質量流量控制器可提供模擬量（0至5VDC或4至20mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細介紹

多氣體，多量程，金屬密封的50至100slm質量流量控制器

G系列GM100A數字控制質量流量控制器可提供模擬量（0至5 VDC或4至20 mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點進行快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。數字校準可在校準氣體上產生設定點精度的1％。

· 流速從50到100 slm

· 金屬密封，帶彈性塞

· 多種數字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0％

· 少于750毫秒的建立時間

技術指標

控制范圍	滿量程的2％至100％	進氣壓力系數	<讀數的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	50,000-100,000 sccm（相當于N2）	典型建立時間	<750毫秒，典型值在滿量程的10％以上
流量輸入輸出信號	電壓：（0至5 VDC）15針D型公頭，9針D型公頭，電流：4到20 mA 15針D型公頭	熱身時間	30分鐘
入口壓力	150磅/平方英寸	工作溫度	10°至50°C
正常工作壓力差	50,000-100,000 sccm; 40至80 psid	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結
耐壓	1000磅/平方英寸	貯存溫度	-20°至80°C
爆破壓力	1500磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-10（scc / sec He）
典型精度	20至100％滿量程時為設定值的±1％，2至20％滿量程時為額定值的±0.2％	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力為40 psig時<滿量程的1.0％
重復性	讀數的±0.3％	濕材料	316L不銹鋼VAR，316不銹鋼，Elgiloy®，鎳
解析度	滿量程的0.1％	表面處理	平均Ra 10µ英寸
零溫度系數	<滿量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度溫度系數	<0.08％的讀數/°C	合規(guī)	CE認證

特征

多種數字和模擬接口選擇

GM100A數字控制MFC帶有模擬或數字I / O。數字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設備控制范圍內對設定點提供快速，可重復的響應。典型的響應時間約為500毫秒。GM100A的模擬和數字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM100A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。