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環(huán)保APP正式上線

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱

參考價1500-280000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/10/30 13:02:55
  • 訪問次數(shù)1051
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 45mm
功率 2500 加工定制
類型 真空 適用范圍 MEMS,氮化鎵,砷化鎵,半導體
溫度范圍 200℃ 重量 90kg
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱使用工藝

  光刻--就是將掩膜版上的幾何圖形轉(zhuǎn)移到涂有一層光刻膠的晶圓表面的工藝過程。典型的光刻全過程為:

晶圓表面預處理一涂膠(去邊)一前烘一 (對位) 曝光一PEB 烘一顯影一后烘一顯檢(測量)

   以上步驟中的第1步表面預處理就是涂膠前要進行增粘處理(可利用親水/疏水理論對其進行解釋。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。通常的方法是使用氣相沉積的方法改變表面特性,一般采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱涂布方法

   JS-hmds90烘箱采用真空蒸鍍的方法涂布HMDS化合物。HMDS烘箱在高溫條件下,達到真空狀態(tài)后開始涂布工藝,涂布完成后烘箱內(nèi)部充入N2,達到常壓后方可開門。

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:人機界面,一鍵運行

儲液瓶:HMDS儲液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

數(shù)據(jù)處理:多個工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄

保護裝置: 低液位報警,HMDS藥液泄漏報&警,超溫保護并斷開加熱,超溫保護,漏電保護,過熱保護等


小型HMDS真空烤箱增粘處理的注意事項:

1)預處理完的硅片應在一定的時間內(nèi)盡快涂膠,以免表面吸附空氣中的水分,降低增粘效果。但同時也要充分冷卻,因硅片的溫度對膠厚有很大的影響;

2)反復預處理反而會降低增粘效果;

3)HMDS 的瓶蓋打開后,其壽命有限。


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