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SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機工業(yè)烘箱

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
品牌雋思
型號
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2023/6/12 9:18:44
訪問次數(shù)5834

產(chǎn)品標(biāo)簽:

SECS/GEM通訊 HMDS鍍膜機 HMDS HMDS烘箱烤箱

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗箱，高低溫試驗箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗機，橡塑檢測試驗機等。
不斷追求技術(shù)進步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會，以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來！

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HMDS烘箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機，精密恒溫加熱臺，超低溫試驗箱

產(chǎn)品簡介在線詢價

工作電壓	220/380v	功率	4kw

SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)

SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機工業(yè)烘箱產(chǎn)品信息

SECS / GEM是用于設(shè)備到主機數(shù)據(jù)通信的半導(dǎo)體設(shè)備接口協(xié)議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設(shè)備處理，收集測量數(shù)據(jù)，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)）/ GEM（通用設(shè)備模型）標(biāo)準(zhǔn)以確定的方式完成所有這些工作。由SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備和材料）組織開發(fā)，該標(biāo)準(zhǔn)定義了一套通用的設(shè)備行為和通信能力。

SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機概述

SECS/GEM通訊HMDS鍍膜機通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

特點

Ø 預(yù)處理性能更好：由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮氣置換，再進行HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾；再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再進行HMDS處理，不需要從箱內(nèi)傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有更好的處理效果。

Ø 處理更加均勻：由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

Ø 效率高：液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達8盒（4寸）的晶片。

Ø 更加節(jié)省藥液：實踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多

技術(shù)參數(shù)

Ø 材質(zhì)：外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

Ø 溫度范圍： RT+10-250℃

Ø 溫度分辨率：0.1℃

Ø 溫度波動度： ≤±0.5

Ø 真空度： ≤133pa（1torr）

Ø 潔凈度： class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

所有符合GEM的生產(chǎn)設(shè)備都具有*的界面和一定的行為。 GEM設(shè)備可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議（使用SECS-I標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E4）與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。還有許多額外的SEMI標(biāo)準(zhǔn)和工廠規(guī)范參考了GEM標(biāo)準(zhǔn)的特點。

關(guān)鍵詞：鍍膜機