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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱

參考價 98900
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/9/15 13:52:25
  • 訪問次數(shù)961
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗機(jī)、橡塑試驗檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機(jī),橡塑檢測試驗機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 45mm
功率 2500 加工定制
類型 真空 溫度范圍 200℃
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業(yè)烘箱 產(chǎn)品信息

碳化硅HMDS烘箱的背景

   碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,也是目前晶體生產(chǎn)技術(shù)和器件制造水平成熟,應(yīng)用廣泛的寬禁帶半導(dǎo)體材料之一,目前已經(jīng)形成了全球的材料、器件和應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈。

   碳化硅(SiC)是由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導(dǎo)體材料。其結(jié)合力非常強(qiáng),在熱、化學(xué)、機(jī)械方面都非常穩(wěn)定。SiC存在各種多型體(多晶型體),它們的物理特性值各有不同。

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱的作用

  HMDS烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱主要性能:

空間(mm):300*300*300

       450*450*450

       600*600*600,可定制

適用產(chǎn)品:兼容1-12寸晶圓及碎片

溫度范圍:RT+10-250℃

溫度穩(wěn)定度:≤±0.5℃

真空度:≤133pa(1torr)

材質(zhì):316L不銹鋼+冷軋板噴塑

HMDS系統(tǒng):密閉設(shè)計,自動開啟,數(shù)據(jù)可設(shè)定

液位計:低液位報警

儲液瓶:HMDS儲液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

運(yùn)行時間:20Min

計量單位:S/Pa

運(yùn)行方式:自動運(yùn)行

進(jìn)氣:N2

排氣:有機(jī)排放

電源:220V、50-60HZ

功率:2800W



關(guān)鍵詞:真空泵
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