型號:VTF-1200X-III-TSSG
產(chǎn)品概述:VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設(shè)備主要由3部分組成:3溫區(qū)加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,溫度為1200℃),溫控系統(tǒng)可設(shè)置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉(zhuǎn)提拉機構(gòu),其提拉速度為0.8-50mm/hour.
爐體 | 3溫區(qū)加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區(qū)由獨立的溫控系統(tǒng)控制,可創(chuàng)造出較大的溫度梯度 工作溫度: 1200℃(小于1小時) 連續(xù)工作溫度: 1100oC 功率: 208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相 功率: 5KW |
控制面板 | · PLC觸摸屏控制面板,可設(shè)置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度等 · 溫控系統(tǒng):可設(shè)置28段溫度段,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,其控溫精度為±0.1℃ · 升溫速率: 0~10oC / min · 提拉速度: 0.8-50mm/h (可調(diào)) · 下降速度: 40 mm/minute · 籽晶桿轉(zhuǎn)速: 0.1-23 RPM(可調(diào)) |
提拉行程 | 300mm |
加熱腔體 | · 腔體直徑為Φ135mm(設(shè)計為開啟式),可直徑為Φ80mm的坩堝 · 加熱區(qū)長度600mm 可選購真空密封件:直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭
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設(shè)備尺寸 |
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質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終身維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件等耗材) |
認證 | CE認證 |