型號(hào):SKJ-50CZ
產(chǎn)品概述:SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長爐,可針對(duì)于材料的實(shí)驗(yàn)探索,也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長爐已經(jīng)被證實(shí)可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍(lán)寶石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,溫度可達(dá)2100℃,可長出晶體尺寸為3英寸。
技術(shù)參數(shù) | · 感應(yīng)射頻功率為25KW,射頻0.2 - 20 KHz · 提拉速度 :0.1- 20 mm/h,籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度0 ~~ 40 RPM · 提拉行程:50CM · 可熔融溫度為:2100℃ · 輸入電源:三相,380V,25KW · 真空腔體尺寸為 :50 cm dia. X 70 cm h,其真空度可以達(dá)到10-3 torr(用機(jī)械泵)10-5 tor(用擴(kuò)散泵) · 冷卻水需求: · 所需水壓 0.13~~0.18MPa · 所需水流量60 L/minute 冷卻水會(huì)同多爐腔體夾層和籽晶桿 | ||||||||
產(chǎn)品尺寸 | · 爐體: L880x W1250x H2640mm · 控制柜:L680x W540x H1700mm · 中頻柜: L965xW 812xH 1219mm · 產(chǎn)品凈重 1.5 T
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