多角度激光橢偏儀 SE400advanced使用632.8nm波長HeNe激光器，對測量薄膜厚度，折射率和吸收系數(shù)有非常出色的精度。 SE400advanced能夠分析單層膜，多層膜和大塊材料（基底）
l 超高精度和穩(wěn)定性，來源于高穩(wěn)定激光光源、溫度穩(wěn)定補償器設(shè)置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器
l 高精度樣品校準，使用光學(xué)自動對準鏡和顯微鏡
l 快速簡易測量，可選擇不同的應(yīng)用模型和入射角度
l 多角度測量，可支持復(fù)雜應(yīng)用和精確厚度
l 全面的預(yù)設(shè)應(yīng)用，包含微電子、光電、磁存儲、生命科學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)規(guī)格
l 激光波長632.8 nm
l 150 mm (z-tilt) 載物臺
l 入射角度可調(diào)，步進5º
l 自動對準鏡/顯微鏡，用于樣品校準
l Small footprint
l 以太網(wǎng)接口連接到PC
