Aymont目前生產(chǎn)和款商業(yè)型晶體生長爐,可用于量產(chǎn)150mm。SP-150生長爐主要將用來量產(chǎn)150mm SiC晶圓。
SiC量產(chǎn)解決方案
主要特點(diǎn)
• 電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐
• 雙壁水冷石英管
• 2英寸,100mm或150mm晶圓工藝
• 高溫計(jì)控制和電源控制,保證生長爐穩(wěn)定運(yùn)行
• 自動(dòng)PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報(bào)等功能
• 遠(yuǎn)程監(jiān)測和控制
• 占地空間最小的SiC生長爐
應(yīng)用領(lǐng)域
• 電力電子(肖特基二極管/MOSFETs場效晶體管/JFETs結(jié)型場效應(yīng)晶體管/IGBTs絕緣柵雙極晶體管,BJTs晶體管/晶體閘流管/SiC pn結(jié)二極管)
• 功率因數(shù)補(bǔ)償/太陽能逆變器/電動(dòng)汽車
• 基片晶圓/GaN基HB-LEDs/顯示屏/汽車/通用照明
• GaN基高頻器件