Film Sense新一代多波長橢偏儀系統(tǒng)現(xiàn)已問世。Film Sense FS-1EX和FS-1UV橢偏儀測量薄膜的功能更強(qiáng)，波長更長，光譜范圍也更廣。新一代橢偏儀系統(tǒng)既擁有* FS-1技術(shù)的相同特點(diǎn)(經(jīng)久耐用的LED光源，快速可靠且無移動(dòng)部件的探測器，緊湊的設(shè)計(jì)以及瀏覽器軟件界面)，同時(shí)具備易用性和可購性。
產(chǎn)品特點(diǎn)及規(guī)格
FS-1EXTM 橢偏儀
l 6 條波長，光譜范圍405–950 nm
l 微型光學(xué)器件：光源137 x 80 x 60 mm，探測器110 x 80 x 60mm
l 與FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上
l 2條較長波長(850和950 nm)可以測量更厚的透明薄膜(厚度可達(dá)5μm)以及吸收性薄膜（如多晶硅、SiGe、非晶硅等）
l 2條較長波長也提高了對(duì)薄膜電阻率的測量
l 6條波長和更寬的光譜范圍強(qiáng)化了測量多層膜堆的能力
FS-1UVTM 橢偏儀
l 6條波長，光譜范圍280–660 nm
l 微型光學(xué)器件：光源137 x 80 x 60 mm，探測器110 x 80 x 60mm
l 紫外波長(280 nm和305 nm)超過大多數(shù)半導(dǎo)體的間接帶隙，可增強(qiáng)合成物的敏感度
l 紫外波長也可以加強(qiáng)透明基片和薄膜的折射率對(duì)比
FS-1TM(Gen. 2)橢偏儀
l 4條波長，不同于FS-1的4條波長
l 微型光學(xué)器件：光源和探測器110 x 80 x 60mm
l 略寬的光譜范圍 (450–660 nm)
l 與FS-1相比強(qiáng)度增加4倍以上
l 精度提高2倍
l 更容易內(nèi)部校準(zhǔn)
l 測量0 - 2μm厚度范圍內(nèi)單層透明薄膜的，精度可達(dá)0.001 nm
自動(dòng)映射系統(tǒng)
FS-1EX多波長橢偏儀與小型自動(dòng)映射系統(tǒng)組裝，可快速、準(zhǔn)確地測量晶圓薄膜厚度均勻性。
l 6條波長的橢圓偏振測量數(shù)據(jù)（405，450，525，660，850，950 nm），帶經(jīng)久耐用的LED光源以及無移動(dòng)部件的探測器
l 大多數(shù)透明薄膜厚度地精確測量：0 - 5μm
l 典型薄膜厚度重復(fù)性：0.015 nm
l 集成聚焦探頭，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸：0.8 x 1.9 mm(其他光斑尺寸可供選擇)
l 可使樣品自動(dòng)校準(zhǔn)的電動(dòng)z型臺(tái)
l 靈活的掃描圖形編輯器
l 測量參數(shù)的等高線和三維圖
