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中圖儀器光學(xué)輪廓儀三維形貌測(cè)量?jī)x器SuperViewW1

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)SuperViewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/2/3 8:47:28
  • 訪問(wèn)次數(shù)428
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?! ≈袌D儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具有多項(xiàng)技術(shù)和軟件知識(shí)產(chǎn)權(quán)。在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了的設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì),具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案的能力?!≈袌D儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場(chǎng)地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測(cè)的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供的產(chǎn)品?! ≈袌D儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及三十多個(gè)省、市、自治區(qū),海外市場(chǎng)快速成長(zhǎng),營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善?! ≈袌D儀器經(jīng)過(guò)十多年在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī)、SJ5700系列輪廓測(cè)量?jī)x、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測(cè)量、計(jì)量設(shè)備。從納米級(jí)的微觀形貌檢測(cè)到百米級(jí)的大尺寸高精度測(cè)量,為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案。  目前,中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達(dá)到水平,參與制定了多項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),為中國(guó)儀器在精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)?! ∥磥?lái),中圖儀器還將專注于精密測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)我們的力量,圖中國(guó)儀器技術(shù)之強(qiáng)大,鑄中國(guó)產(chǎn)業(yè)提升之利器。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀三維形貌測(cè)量?jī)x器是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一
中圖儀器光學(xué)輪廓儀三維形貌測(cè)量?jī)x器SuperViewW1 產(chǎn)品信息
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀三維形貌測(cè)量?jī)x器是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。
 

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。
 

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
 
 

性能特色

1、高精度、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高;
2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測(cè)量重復(fù)性;
2、雙重防撞保護(hù)措施
除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。
3、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī),在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
15700106413
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