場景一:粗糙的特征表面
整體尺寸在7mm左右的涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。根據(jù)精度要求,可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。
場景二:超光滑的弧形表面
旋轉(zhuǎn)拋物面零件表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,用于微小位移和角度檢測,針對其凹面弧形的檢測需求,現(xiàn)有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀,能同時(shí)滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1非接觸輪廓儀的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
場景三:粗糙的有孔洞特征平面
手機(jī)插卡槽處的金屬薄片模塊,需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度,因其表面較為粗糙且了測量區(qū)域,可使用高速FVSI算法,并在拼接測量設(shè)定時(shí),使用地圖導(dǎo)航功能,在掃描時(shí)即可自動(dòng)跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量。
中圖儀器SuperView W1非接觸輪廓儀,可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換,無論何種形貌,都可生成3D全景。