SuperViewW三維光學輪廓儀測量儀部分參數(shù)
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性:0.1nm
表面形貌重復性:0.1nm
臺階測量:重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%
【功能強大,參數(shù)齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標準的300余種特征參數(shù)。
【高重復精度,穩(wěn)定可靠】
采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設計,可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。
【操作便捷,簡單明了】
直觀的操作界面,讓您對操作流程一目了然,自動聚焦,助您一鍵實現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量不用愁。
【3D測量,一覽無余】
采用白光干涉技術,結合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,輕松觀察、測量樣品的任意特征。
【廣泛應用,貼心服務】
可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。
SuperViewW系列三維光學輪廓儀測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領域中,可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。