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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

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產(chǎn)品型號(hào)EMS 650/EMS 650T

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更新時(shí)間：2022-07-22 10:49:53瀏覽次數(shù)：558次

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EMS 650/EMS 650T大樣品離子濺射鍍膜儀

詳細(xì)介紹

又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀，EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶（用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材）；面板式控制，*的人性化設(shè)計(jì)；濺射參數(shù)可預(yù)先設(shè)置，包括控制排氣的電磁閥（自動(dòng)控制），可以獲得精確的可重復(fù)的鍍膜厚度；濺射頭互鎖，EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用；EMS 650可控制獨(dú)立的真空泵。下圖示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基礎(chǔ)上加裝了一個(gè)功率為60L/秒的渦輪增壓泵，能夠獲得更高更潔凈的真空。

性能特征：

全自動(dòng)控制
低能冷卻系統(tǒng)（（功率是6W）
低電壓濺射（100V，DC;每分鐘溫度升高不到2°C）
鍍膜厚度精確（2nm金粒）
精確的可重復(fù)性
鍍膜厚度20nm或200A（掃描電鏡）
微電子控制
三個(gè)靶臺(tái)同時(shí)濺射
聚碳酸脂安全外殼

儀器參數(shù)：

儀器尺寸：	450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）
工作腔室	硼硅酸鹽玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H）
重量：	24Kg
靶臺(tái)：	3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)：	155mm Dia. 距離靶臺(tái)40 to 50mm可調(diào)
真空范圍：	ATM 1x10-2 mbar
鍍膜電流范圍：	0-100mA
鍍膜速率：	0-20nm/minute
濺射鍍膜時(shí)間：	0-4 minutes
電源：	230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵）
維護(hù)：	氬氣通常 4 psi
真空泵（*）	整套真空泵軟管和油氣過(guò)濾器135L/Min

訂購(gòu)信息:

貨號(hào)	產(chǎn)品名稱	規(guī)格
91020	EMS 650 Sputter Coater complete with Targets （3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard	臺(tái)
91020T	EMS 650T Sputter Coater	臺(tái)
91025	Rotary Vacuum Pump