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全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DL-GD2005A/GD3005A

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更新時(shí)間：2024-10-02 13:48:04瀏覽次數(shù)：81次

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生（運(yùn)營(yíng)）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)是一款功能全面，兼容性好，配置豐富，全自動(dòng)系統(tǒng)的高精度研磨設(shè)備。全自動(dòng)上下料，可進(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。

◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。

◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。

◎ 全自動(dòng)上下料?？蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。

性能參數(shù)