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勻膠機(jī)CPN-KW-10A

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CPN-KW-100A型智能勻膠機(jī)的智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型

詳細(xì)介紹

CPN-KW-100A型智能勻膠機(jī)

的智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型。 PC 控制系統(tǒng)，更好的可操控性可編程設(shè)計(jì)。 5 英吋人機(jī)界面，全中文操作系統(tǒng)，更方便操作。適合多種材料勻膠、制版工藝。廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域。

主要構(gòu)造:

1、采用無(wú)刷伺服電機(jī)，全閉環(huán)數(shù)字編碼器測(cè)速機(jī)構(gòu)，實(shí)測(cè)整個(gè)過(guò)程馬達(dá)速度。

2、機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。

3、排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。

4、透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

5、配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口，由界面集中控制。機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

主要性能指標(biāo):

1、旋涂程序：用戶(hù)通過(guò) PC 界面設(shè)置和存儲(chǔ)工藝參數(shù)，可存儲(chǔ) 15 組參數(shù)，支持多段速。

2、轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm 旋涂加速度：0-5000rpm/sec 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1rpm

3、測(cè)速精度<0.2rpm 工藝時(shí)間設(shè)定： 09,999.9 sec/step 0.1 精度

4、可鍍膜尺寸 5mm-200mm(8〞) 旋涂不均勻性：< ±3% 支持基片厚度≤5mm

5、設(shè)備尺寸 15〞(380mm ) W × 11.4〞 (290mm ) D × 10〞 (260mm ) H 配置配置配置配置規(guī)格規(guī)格規(guī)格規(guī)格