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離子濺射儀

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更新時間：2023-07-01 18:00:24瀏覽次數(shù)：212次

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東莞華雅檢測儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

SD-900型離子濺射儀是采用二級（DC）直流濺射原理設計而成的離子濺射鍍膜設備

詳細介紹

SD-900型離子濺射儀是采用二級（DC）直流濺射原理設計而成的離子濺射鍍膜設備。二極（DC）直流濺射是一種、可靠、經(jīng)濟的鍍膜技術，是許多廠商提供的離子濺射儀的基礎。

V技術規(guī)格說明

樣品倉尺寸	φ150mm h120mm
樣品臺	可放置1 2 個標準SEM樣品座，高度可在 30mm內(nèi)調節(jié)
上部電極	靶直徑5 0 mm，厚度0 .1mm
濺射控制	電流5 0mA
濺射面積	φ5 0mm
真空度	≤4×10-2mbar
靶材	金靶、銀靶、鉑靶
濺射速率	優(yōu)于5nm/min (金靶）
工作電壓	220V, 50HZ
輸出電壓	-1600V