污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
三河建華高科有限責(zé)任公司
會員1.png)
三河建華高科有限責(zé)任公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-06-12 17:54:22瀏覽次數(shù)：208次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線該設(shè)備為星型全自動(dòng)勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于4″或5″晶圓涂膠、預(yù)烘工藝
該設(shè)備為星型全自動(dòng)勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于4″或5″晶圓涂膠、預(yù)烘工藝。采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片，工藝過程單片處理，自動(dòng)運(yùn)行，主要適用于分立器件、功率器件等領(lǐng)域。
主要技術(shù)特點(diǎn)
傳輸機(jī)構(gòu)
傳輸機(jī)構(gòu)采用機(jī)械手進(jìn)行晶圓的承載及傳輸，性能穩(wěn)定，對晶圓背面污染小。
勻膠單元
采用不銹鋼勻膠腔體，中空軸伺服電機(jī)，具有密閉腔蓋，保證勻膠過程中不產(chǎn)生膠絲。
熱板單元
采用硬質(zhì)陽極氧化熱盤，受熱均勻，易于擦拭。
主要技術(shù)指標(biāo)
晶圓尺寸：4″、5″
上/下片單元數(shù)量：4個(gè)（兩個(gè)上片、兩個(gè)下片）
手指數(shù)量：2個(gè)
膠腔數(shù)量：2個(gè)
主軸轉(zhuǎn)速：0～5000rpm，：5000rpm
轉(zhuǎn)速精度：±2rpm (50～5000rpm)
光刻膠供給量(Teflon吐出泵)：1～10ml
光刻膠供給精度：±0.1ml
光刻膠粘度：≤500Cp
熱板數(shù)量：4個(gè)
溫度范圍：室溫～180℃±1℃（可設(shè)置）
最小調(diào)整量：0.1℃
溫度均勻性：±2℃@50℃～100℃、±3℃@100.1℃～180℃
外形尺寸：L1400mm×W1200mm×H1800mm
重量：800Kg
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
北京SETCAS賽德凱斯KW-4C智能型勻膠機(jī)/旋涂儀 5-150mm片托
KW-4C智能程控型 面議
環(huán)保在線 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
