產(chǎn)品介紹:
陽光的金屬四探頭電阻率方阻測試儀(HS-MPRT-5)是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器.本儀器按照半導體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關規(guī)定設計。 它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。 為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進行校準,以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω?cm標準樣片的測量偏差不超過±3%,在此范圍內達到國家標準一級機的水平。
產(chǎn)品特點:
■ 采用金屬探頭,游移率小,穩(wěn)定性高
■ 儀器采用220V交流電源供電
■ 適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)
■ 適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
■ 具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
技術指標:
■ 電阻率:0.01~199.9Ω?cm
■ 方塊電阻:0.1~1999Ω/口
■ 直流數(shù)字電壓表 測量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv 準確度:0.2%(±2個字)W
■ 電源: AC 220V ± 10% , 50HZ?cm
■ 功耗:功耗 ≤10W ,平均功耗≈ 8W
典型用戶:
江蘇、浙江、廣東、湖南湖北、內蒙古、河南等地的CZ直拉單晶及鑄錠客戶客戶。