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大流量質量流量控制器

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更新時間：2024-01-27 14:38:03瀏覽次數(shù)：355次

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成都研創(chuàng)眾誠科技有限公司

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產品簡介

產品介紹數(shù)字式系列質量流量控制器可通過定制化的高速比列調節(jié)閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量及壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度

詳細介紹

產品介紹

數(shù)字式系列質量流量控制器可通過定制化的高速比列調節(jié)閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量及壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。

特點
標準精度0.8%RD+0.2%F.S                                  高精度0.4%RD+0.2%F.S
有效控制范圍0.5-99%                             內置90至130條氣體曲線可選
響應速度100ms                                              多種數(shù)字信號可選
基本參數(shù)

產品性能	質量流量控制器
流量范圍	0.5sccm-5000slpm
精度(調零后標準條件下)	± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度選配(調零后標準條件下)	± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備
標定氣體	內置90條氣體可選擇
重復性	± 0.2% F.S
零點漂移&滿量程漂移	0.02% F.S / ºC / Atm
工作壓力	10bar
可控流量	102.4% F.S
典型響應時間	100 毫秒(可調整)
啟動預熱時間	< 1 秒

工作溫度	−10 ~ +50 ºC
工作濕度范圍 (非冷凝)	0 ～ 99%
內部工作壓力(靜壓)	145 psig
極限壓力	175 psig
對安裝方式/方向的要求	任意
閥門狀態(tài)	閥門常閉

通訊 / 電源	質量流量控制器
單色/彩色 LCD 顯示屏	同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號	標準RS-232 選配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號	標準0-5V 1-5V-0-10V 選配4-20mA
電信號接口	標準圓形8針選配圓形6芯 DB9針 DB15針
供電電壓	+24VDC
消耗電流	20SLM以為 250mA 50SLM以為750mA 5000SLPM消耗2000mA電流

壓損

流量	壓損(spig)排放大氣中	接口
0.5-50SCCM	1.0	1/8NPT母螺紋
100-500SCCM	1.0
1SLM	1.5
2SLM	3.0
5SLM	2.0
10SLM	5.5
20SLM	20.0
50SLM	2.0	1/4NPT母螺紋
100SLM	3.2	1/4NPT母螺紋
250SLM	2.4	1/2NPT母螺紋
500SLM	6.5	3/4NPT母螺紋
1000SLM	14.0
1500SLM	17.0
2000SLM	28.6
3000SLM	16.8	1-1/4NPT母螺紋
5000SLM	14.1	2NPT母螺紋