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行業(yè)產(chǎn)品

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上海奇琳實(shí)業(yè)有限公司


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SFM/SFC5400系列質(zhì)量流量計(jì)/控制器

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更新時(shí)間:2023-01-18 07:01:00瀏覽次數(shù):442次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:11條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)規(guī)格:

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格:

? 超快響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間(50毫秒)

? 優(yōu)良的精度/重復(fù)性(分別為測(cè)量讀數(shù)的0.8%/0.1%)

? 很寬的動(dòng)態(tài)范圍 (量程比可達(dá)1000:1)

? 多種數(shù)據(jù)接口可供選擇:RS485, DeviceNet, IO-Link和模擬電壓/電流

? 多種機(jī)械連接可供選擇:Swagelok, VCR, VCO, Legris, C-Seal, W-Seal

? 實(shí)標(biāo)的多種氣體和氣體識(shí)別

? 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)研究所的可追溯校準(zhǔn)

? MTBF169年-無需再校準(zhǔn)


應(yīng)用領(lǐng)域:
SFC5400/SFM5400產(chǎn)品的優(yōu)異性能使其成為分析儀器、涂層/蝕刻設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和過程自動(dòng)化等廣泛應(yīng)用的。


儀表參數(shù):

參數(shù)單位
流量范圍  0.05, 0.1, 0.2,  0.5, 1, 2, 5, 1020, 50, 100, (200 ) ln/min or slm
精度 0.81% s.p.
兩者以較大者為準(zhǔn)  0.080.1% FS
重復(fù)性  0.10.2% s.p.
兩者以較大者為準(zhǔn)  0.010.02% FS
穩(wěn)定時(shí)間典型值 100  (50 for optimized OEM versions )ms
取樣頻率  1000Hz
量程比 超過  1000:1
標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定氣體  Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2
用氣體轉(zhuǎn)換標(biāo)定的氣體 標(biāo)準(zhǔn):  SF6, C4F8
OEM版,可根據(jù)要求與其他氣體或混合物
工作溫度(環(huán)境和氣體)  0 –  50 / 32 – 122°C / °F
Temp. coeff. zero  0.005% FS / °C
Temp. coeff. span  0.06% s.p. / °C
全量程壓降:SFC5400  < 2.0 / 29< 3.0 / 43bar /  psig
全量程壓降:SFM5400  < 0.1 / 1.5< 0.2 / 3
輸入壓力 10 /  145bar / psig
差壓 5 / 734 / 58bar / psig
MFC外部泄漏  9 x 10-99 x 10-6mbar l/s He
電磁閥泄露量  1 x  10-6mbar l/s He
熱機(jī)時(shí)間 1sec

① 精度會(huì)降低;

② 包括偏移、非線性和遲滯。根據(jù)NIST可追蹤基準(zhǔn)測(cè)量;

③ 讀數(shù)%=測(cè)量點(diǎn)精度=流量=讀數(shù);

④ 設(shè)定點(diǎn)5%精度內(nèi)流量從10%到99%的響應(yīng)時(shí)間,具有模擬接口的質(zhì)量流量控制器由于模擬電路延遲(通常由因子2)而需要較長(zhǎng)的穩(wěn)定時(shí)間;

⑤ 50個(gè)最小年用量;

⑥ 參數(shù)只適用于質(zhì)量流量控制器。具有模擬接口的設(shè)備的性能取決于布線質(zhì)量,通常不超過500:1;

⑦ 氣體轉(zhuǎn)換是利用標(biāo)準(zhǔn)氣體的組合從實(shí)際的氣體校準(zhǔn)數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的。典型的準(zhǔn)確度為2%M.V。/0.2%FS(以較大者為準(zhǔn))。

⑧ 進(jìn)氣道與周圍環(huán)境的壓力差;

⑨ 進(jìn)氣口和出口之間的壓差。

⑩ 讀數(shù)穩(wěn)定到設(shè)定點(diǎn)的2%精度內(nèi)的時(shí)間。


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