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Tousimis B系列臨界點干燥儀

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更新時間：2022-11-22 16:48:40瀏覽次數(shù)：329次

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商鋪產(chǎn)品：6條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點：專為MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）制備而設(shè)計的臺式全自動臨界點干燥儀

詳細介紹


產(chǎn)品特點：

  • 專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計的臺式全自動臨界點干燥儀，防靜電無塵室適用

  • 標配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個晶圓樣品

  • 標配樣品室內(nèi)環(huán)套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO2消耗，提高干燥效率

  • 高效絕熱冷卻系統(tǒng)，可快速降溫并在充液、吹掃時自動保溫

  • SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音

  • 內(nèi)置壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性

  • 外置0.5μm的LCO2過濾裝置，去除水、油和顆粒物

  • 內(nèi)置吹掃后過濾器，可過濾LCO2內(nèi)0.4μm以上雜質(zhì)

  • 每個操作模式均有LED顯示，一目了然

  • 樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)

  • 帶刻度的微型計量閥門控制LCO2流量

  • 微處理器控制，可全自動操作

  • 操作參數(shù)可重復(fù)設(shè)定，確保結(jié)果可重復(fù)性

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準


B系列干燥儀參數(shù)對比：


型號

（點擊下載PDF）

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Series B

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Series B

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Series B

產(chǎn)品編號
8779C8780C8785C
樣品室尺寸1.25"(內(nèi)徑)×1.25"(深)4.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)6.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深)
樣品室容積25 ml326 ml679 ml
樣品室內(nèi)環(huán)-4", 3", 2", 1.25"6", 4", 3", 2", 1.25"
HF相容晶元架10mm4", 3", 2", 10mm6", 4", 3", 2", 10mm
設(shè)備尺寸35.6 x 26.0 x 54.6 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm36.2 x 29.8 x 63.5 cm
溫度壓力范圍- 30 ℃ ~ 60 ℃，0 ~ 2000 psi



標配附件：

  • 柔性高壓LCO2進液管線，3.0 m（無塵室）

  • 防靜電排空管線

  • 外置SOTER冷凝器（分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音）

  • 樣品室內(nèi)環(huán)（僅適用于915B與815B）可適配不同直徑晶圓

  • HF相容晶圓架（僅適用于915B與815B）與10mm方晶架，每個支架最多可放置5片晶圓樣品

  • 備用樣品室密封環(huán)（3），樣品室燈泡（2），保險絲（2）

  • 安裝工具組

  • 用戶說明書及數(shù)據(jù)表

  • 2年質(zhì)保及終生免費技術(shù)支持

關(guān)鍵詞：臨界點干燥儀 冷凝器
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