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小型真空電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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沈陽好智多新材料制備技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備用途：利用電阻加熱產(chǎn)生熱能，將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在基片表面析出的過程

詳細(xì)介紹

設(shè)備用途：

利用電阻加熱產(chǎn)生熱能，將待成膜的物質(zhì)置于真空中進(jìn)行蒸發(fā)或升華，使之在基片表面析出的過程。用于制備各類金屬膜等，廣泛應(yīng)用千大專院校、科研機(jī)構(gòu)的科研及小批量的生產(chǎn)。

主要技術(shù)指標(biāo)
真空指標(biāo)	極限真空度：≤7x10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?，再開始抽氣，40分鐘可達(dá)到3x10-3 Pa；停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤20Pa；
真空室	真空室尺寸：Φ300 X 365mm, 上開蓋結(jié)構(gòu)，上面焊有觀察窗，放氣閥、膜厚儀等法蘭接口。選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面特殊工藝處理。內(nèi)壁掛防污板。
樣品	樣品盤上可承裝Φ150mm以下樣品，樣品盤轉(zhuǎn)速10—60轉(zhuǎn)／分，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)。電動(dòng)控制擋板一套；
真空獲得及測量	分子泵+機(jī)械泵，數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)（皮拉尼規(guī)+電離規(guī)）
蒸發(fā)舟	兩個(gè)蒸發(fā)舟，10CC
蒸發(fā)電源	3KW，帶有微調(diào)功能
控制系統(tǒng)	手動(dòng)
工作壓力控制系統(tǒng)	手動(dòng)
水冷機(jī)組	可選
石英晶振膜厚儀	可選