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D07-19B 質(zhì)量流量控制器

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質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制

詳細(xì)介紹

質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V

氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測(cè)…………0～+5.00V

滿(mǎn)量程流量范圍（N₂）		5SCCM～30SLM
控制范圍		2～100％F.S.
閥類(lèi)型（及閥初始狀態(tài)）		電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
線(xiàn)性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重復(fù)精度		±0.2％F.S.
響應(yīng)時(shí)間		≤4sec
工作溫度范圍		5～45℃
工作壓差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
	＞10SLM	0.1～0.3MPa
耐壓		3MPa
漏氣率		1×10^-9SCCSHe
密封材料		氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠
接頭選擇	VCR	1/4"或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8"、1/4"或φ3、φ6mm
電插頭形式		DB15 pin(Male)
抗電磁干擾		CE
重量		0.95Kg