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行業(yè)產(chǎn)品

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日本KOSAKA臺(tái)階儀

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更新時(shí)間:2022-12-02 14:38:13瀏覽次數(shù):233次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:17條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:李經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、儀器的功能及用途能夠在大氣環(huán)境下準(zhǔn)確地測(cè)量樣品表面臺(tái)階變化;使用金剛石(鉆石)探針接觸直動(dòng)式測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用

詳細(xì)介紹

一、儀器的功能及用途

能夠在大氣環(huán)境下準(zhǔn)確地測(cè)量樣品表面臺(tái)階變化;使用金剛石(鉆石)探針接觸直動(dòng)式測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

: 儀器的配置及主要技術(shù)指標(biāo)

1. 標(biāo)準(zhǔn)配置

1)接觸直動(dòng)式臺(tái)階儀主體

2)放大器

3)電腦以及相應(yīng)中文版測(cè)量軟件

4)打印設(shè)備

5)金剛石觸針

6)CCD以及觀測(cè)裝置

2.主要性能指標(biāo)

一、測(cè)定工件

v 1.工件尺寸:φ160mm

2.工件厚度:50mm

3.工件重量:2Kg

二、檢出器

1.Z方向測(cè)定范圍:Max.600μm

2.Z方向分辨率:0.1nm

3.測(cè)定力:1mg ~ 50mg

4.探針半徑:2μm

v 5.檢測(cè)驅(qū)動(dòng)方式:直動(dòng)式

v 6.再現(xiàn)性:0.2nm(1μm臺(tái)階儀下)

三、X

v 1.移動(dòng)量(測(cè)長(zhǎng)):100mm

v 2.移動(dòng)真值度:0.2μm/100mm

3.移動(dòng)、測(cè)定速度:0.005 ~ 20mm/s

v 4.線性尺(linarscale):分解能0.1μm

四、Z

1.移動(dòng)量:50mm

2.移動(dòng)速度:max.2mm/S

3.檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

4.位置決定分解能:0.1μm

v 5.線性度:±0.25%

五、工件臺(tái)

1.工件臺(tái)尺寸:φ160mm

2.機(jī)械手動(dòng)傾斜:± 2℃(±5mm/160mm )

六、工件觀察:max.110倍(可選其他高倍率CCD)

v 七、床臺(tái):花崗巖石材質(zhì)(120KG機(jī)臺(tái),低重心)

八、電源:AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

九、機(jī)臺(tái)外觀尺寸及重量:W494×D440×H630mm,120kg


關(guān)鍵詞:臺(tái)階儀
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