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北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所


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DS-801A/D 自動(dòng)分選機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:劉先生 查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-09-26 10:49:09瀏覽次數(shù):180次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:1條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:劉先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用領(lǐng)域DS-801A/D自動(dòng)分選機(jī)是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍(lán)膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動(dòng)化設(shè)備

詳細(xì)介紹


應(yīng)用領(lǐng)域
DS-801A/D自動(dòng)分選機(jī)是IC生產(chǎn)過程中用于將表面質(zhì)量的管芯從藍(lán)膜拾取,并放置到晶粒盒里的一種自動(dòng)化設(shè)備??蛇m用多種尺寸的管芯和多種規(guī)格的晶粒盒(Tray盤和JEDECK盤),并實(shí)現(xiàn)了藍(lán)膜到藍(lán)膜等多種工藝流程。
本機(jī)有著合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及良好的操作性、穩(wěn)定性、高可靠性。雙工作臺(tái)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)晶粒盒上下料時(shí)設(shè)備不停機(jī)。

技術(shù)特點(diǎn)

適用于8″及以下晶圓加工;

可輸出至2″~4″規(guī)格的晶粒盒(Tray盤);

可選單頂針與多頂針模塊,并支持快速更換;

支持自動(dòng)擴(kuò)膜功能,擴(kuò)膜行程可控;

軟件系統(tǒng)功能強(qiáng)大,運(yùn)行可靠,支持MAP圖功能;

高效視覺檢測(cè)系統(tǒng),可進(jìn)行芯片識(shí)別定位及表面缺陷檢測(cè);

支持分類拾揀功能;

雙工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)收料不停機(jī)。

大尺寸JEDECK盤,或到藍(lán)膜等其它有特殊要求的治具上

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

循環(huán)時(shí)間

≥300ms

(2mm以下芯片、包括PR時(shí)間)

拾取機(jī)構(gòu)

吸 頭

表面拾取型

放片精度

±50μm (XY定位) ±5° (θ)

拾取臂

180°旋轉(zhuǎn)拾取臂

芯片尺寸

□0.5×0.5~10×10mm

□2×2~5×15mm(可選)

□5×5~5×25mm(可選)

頂針Z向行程

2mm(max.)支持單針/多針(4針)

晶片臺(tái)

(輸入)

Wafer尺寸

≤8″

工作臺(tái)

(輸出)

承載臺(tái)數(shù)量

□單(A) □雙(D)

承載金屬環(huán)

□8″(標(biāo)準(zhǔn))

□6″(可選)

有效行程

130×300 mm

行程

200×200 mm

重復(fù)精度

±0.005mm/0.2mm

重復(fù)精度

±0.005mm/0.2mm

Tray盤規(guī)格

2″/3″(可選)/4″(可選)

擴(kuò)晶功能

自動(dòng)擴(kuò)晶

料盤夾持形式

機(jī)械(標(biāo)準(zhǔn))/真空(可選)

操作系統(tǒng)

Windows XP

操作方式

鼠標(biāo)、鍵盤、操作手柄、按鈕

設(shè)備尺寸

1400(W)×1200(D)×1700(H) mm

所需電源

220V±10%

設(shè)備重量

900Kg±10%

所需氣壓

≥0.5Mpa

設(shè)

1.芯片識(shí)別對(duì)準(zhǔn)與墨點(diǎn)(大于芯片面積的20%)識(shí)別功能;

2.包裝盒(Tray盤)識(shí)別與對(duì)準(zhǔn)功能;

3.丟片檢測(cè)與提醒功能;

4.Mapping功能;

5.分Bin功能

6.可兼容6″劃切金屬環(huán)

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