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GVC-1200離子濺射儀

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更新時間：2022-10-07 12:00:09瀏覽次數(shù)：237次

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廣州智匯科學儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

GVC-1200離子濺射儀易于使用的基本濺射涂布機；設備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時，無需培訓，即可快速熟練操作設備；實體按鍵，安全。

詳細介紹

直流濺射工作原理：

1.低氣壓下（一定的真空度）氣體的輝光放電現(xiàn)象：

2. 靶材接高壓，本設備為-2400V，為負極；樣品臺接地，為正極；

3. 靶材與樣品臺之間形成電場，電離氣體，可用空氣、Ar、N2；

4.氣體電離后，正離子飛向負極，轟擊靶材，靶材原子被濺射飛出，沉積到樣品上形成導電膜；

5.電子或負離子在電場的作用下，飛向樣品臺，會加熱樣品，濺射電流10mA，濺射時間1分鐘，樣品臺溫度約為60℃

工作特點：濺射電流隨壓力變化，壓力升高，濺射電流才能增加；

壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大，熱損傷隨之加劇。

應用領域：非熱敏性樣品，如無機鹽類粉體等，性價比較高

適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等