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臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA

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產(chǎn)品型號KLA-Tencor D-300 D-500

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廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-12-06 14:34:47瀏覽次數(shù):486次

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聯(lián)系人:尤經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA,垂直分辨率:0.38A,它廣泛應(yīng)用于太陽能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。

詳細(xì)介紹

臺階儀的工作原理。臺階儀主要的工作就是測量,當(dāng)臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時,被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進(jìn)行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現(xiàn)出來。當(dāng)輸出的信號經(jīng)過測量的電橋之后,輸出的信號與觸針的平衡位子的位移此刻成正比,調(diào)幅的信號也就隨之出現(xiàn),經(jīng)過放大和整流之后,位移信號就從調(diào)幅信號中解調(diào)出來了,信號就變得相應(yīng)緩慢,半導(dǎo)體厚度測試臺階儀,也就能在控制器中被讀出來。隨之噪音濾波器以及波度濾波器會對調(diào)制頻率以及外界的干擾信號等因素進(jìn)行進(jìn)一步的過濾,誤差所帶來的影響也隨之減小。 

 

典型應(yīng)用:太陽能電池、太陽能集熱器等 PVD(物理氣相沉積)太陽能涂層研究,對薄膜材料常規(guī)性能的檢測臺階膜厚儀

它廣泛應(yīng)用于太陽能薄膜材料、半導(dǎo)體硅片、微電子器件、薄膜化學(xué)涂層、平板顯示器等研究領(lǐng)域。在新型薄膜材料的開發(fā)研究工作上極為重要。

美國KLA-Tencor公司

在四十年來半導(dǎo)體及相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展中,KLA-Tencor作為工藝控制領(lǐng)域的行業(yè),借助創(chuàng)新的光學(xué)技術(shù)、精準(zhǔn)的傳感器系統(tǒng)以及高性能計算機(jī)信息處理技術(shù),持續(xù)研發(fā)并不斷完善檢測、量測設(shè)備及數(shù)據(jù)智能分析系統(tǒng)。

生產(chǎn),品牌AlphaStep,型號 D-300臺階儀 D-500臺階儀

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300 已升級成D-500臺階儀

臺階儀膜厚儀探針接觸式輪廓儀美國KLA AlphaStep D-300主要產(chǎn)品特性:

1)垂直分辨率: 0.38A

2) Z測量重復(fù)精度:保證5A重復(fù)性(1um臺階標(biāo)樣,無需防震臺,用2um探針驗收)

3)掃描時***小正壓力: 0.5mg (軟件可編程選擇和自動控制,無需手動)

4)采樣點數(shù)400,000

5)探針曲率半徑2微米

6)KLA-Tencor標(biāo)定證書的1um標(biāo)樣一塊

7)斜視光學(xué)系統(tǒng),500萬像素彩色攝像頭Keystone圖像糾正

8)系統(tǒng)配有150x150mm口徑的超大超厚超光滑平晶

9)具有雙向掃描測量的功能

 

更多技術(shù)參數(shù)歡迎提供樣品測試服務(wù)。

 

關(guān)鍵詞:臺階儀 電池 顯示器 傳感器
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