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上海納嘉儀器有限公司
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產(chǎn)品型號Alpha-Step D-600
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間：2022-11-29 17:41:47瀏覽次數(shù)：350次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-StepD-600StylusProfilerAlpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應力的測量。 D-600配置200毫米自動移動樣品臺與*的Keystone矯正的輔助光學系統(tǒng)
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應力的測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
臺階高度：幾納米至1200μm
低觸力：0.03至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸：占地面積小
軟件：用戶友好的軟件界面
臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應力：2D薄膜應力
大學，研究實驗室和研究所
半導體和復合半導體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微電子機械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設備
更多應用：請與我們聯(lián)系并探討您的需求
掃描探針壓力: 0.03-15mg
垂直分辨率: 0.38 ?
Z測量重復精度: 5.0 ? 或 0.1%
垂直測量范圍: 1200um
具有雙向掃描測量的功能,方便定位和掃描
采樣點數(shù)120,000
掃描長度：55 mm/200mm(stitching);
掃描速度0.01-0.4mm/s
的系統(tǒng)內(nèi)置避震設計
30多種分析參數(shù)
XY方向150mmX178mm自動樣品運動臺
樣品臺尺寸200mm直徑，360度旋轉(zhuǎn),可調(diào)傾斜角度+/-2度
500萬像素彩色攝像頭 配備Keystone視頻校正
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