介紹
產(chǎn)品概述:
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍到50SLPM;
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專(zhuān)為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:
產(chǎn)品特點(diǎn):
性能參數(shù) FS4003 FS4008 單位
通 徑 3 8 mm
流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復(fù)性 0.75 %
零點(diǎn)輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 0.12 %/oC
響應(yīng)時(shí)間 100 ms
工作電源 8~18Vdc,100mA
輸出方式 線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
流量壓損 100 600 pa
工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲(chǔ)溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH(無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)
機(jī)械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa
重量 57(帶R1/4,BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)