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更新時(shí)間:2023-04-09 18:02:23瀏覽次數(shù):196次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制
流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn): 氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V 輸出電壓檢測…………0~+5.00V 產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo) 滿量程流量范圍(N2) 5SCCM~10SLM/MIN 控制范圍 2~100%F.S. 閥類型(及閥初始狀態(tài)) 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) 準(zhǔn)確度 ±1.5%F.S. 線性 ±0.5~1.5%F.S. 重復(fù)精度 ±0.2%F.S. 響應(yīng)時(shí)間 ≤7sec 工作溫度范圍 5~45℃ 工作壓差 0.1~0.5MPa 耐壓 3MPa 漏氣率 1×10-8atm.cc/sec He 通道濕材料 316L不銹鋼、密封材料 靜密封材料 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) 電連接器 D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale 動密封材料 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯) 接頭選擇 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量 1.1Kg
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