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北京中西遠大科技有限公司
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產(chǎn)品型號SZ41-Gatan 695.B
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廠商性質(zhì)其他
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更新時間:2022-09-08 13:59:29瀏覽次數(shù):303次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線離子減薄儀制備儀型號:SZ41-Gatan695.B庫號:M4036201.工作條件1.1電力供應:220V(10%),50Hz,1φ;380V(10%),50Hz,3φ1.2工作溫度:15℃-25℃1.3工作濕度:2.技術要求*2.1離子槍:潘寧式離子槍,裝載永磁鐵,聚焦離子束設計,無耗件
離子減薄儀制備儀 型號:SZ41-Gatan 695.B庫號:M403620
1. 工作條件
1.1 電力供應:220V(10%),50Hz,1φ; 380V(10%),50Hz,3φ
1.2 工作溫度:15℃-25℃
1.3 工作濕度:< 60%
2. 技術要求
*2.1 離子槍:潘寧式離子槍,裝載永磁鐵,聚焦離子束設計,無耗件。
*2.2減薄角度:+10°到-10°,每只離子槍可獨立調(diào)節(jié)。
2.3 樣品臺旋轉(zhuǎn):樣品臺可以旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。
2.4 樣品臺移動范圍:載臺可以實現(xiàn)X和Y方向的移動,移動范圍:+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量:0.1keV~8keV??稍诓煌妷合伦詣觾?yōu)化離子束束流。電流密度可達10mA/cm2.
2.6 離子束調(diào)制:可以進行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄
2.7樣品更換:快速樣品更換時間<1min,無需破減薄室真空
*2.8樣品臺:DouPost樣品臺以及裝樣器,方便快速更換樣品以及實現(xiàn)雙面減薄。
2.9 真空系統(tǒng):無油機械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體:氬氣,操作壓力25psi,無需水冷
*2.11 控制部分:10英寸觸摸屏控制,菜單化操作,并支持減薄程序的設定和儲存。
備注:其中,帶*的指標為重要的必須滿足的技術指標
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