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實(shí)驗(yàn)室石墨烯CVD設(shè)備：1200度管式爐+真空系統(tǒng)+混氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2022-10-07 11:48:32瀏覽次數(shù)：276次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

西格馬實(shí)驗(yàn)室石墨烯CVD由管式爐+真空系統(tǒng)+混氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，石墨烯CVD管式爐溫度可以達(dá)到1200度(可定制),可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

SGM CVD-1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。