CT-010噴碳模塊主要應(yīng)用于CUU-010高真空噴金儀,這種集成化設(shè)計(jì)的插入式碳蒸發(fā)模塊為碳涂層設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。CT-010模塊可以插入CCU-010低壓和CCU-010 高壓基本單元,立即準(zhǔn)備就緒。應(yīng)用包括掃描電鏡,透射電鏡和任何其他需要高質(zhì)量碳膜的工藝。
CT- 010采用,*和技術(shù)的碳纖維纏繞系統(tǒng)。這樣就可以在不改變碳源的情況下進(jìn)行多達(dá)50次的涂層。曾經(jīng)一次 碳纖維部分已蒸發(fā),一個(gè)新的部分被自動(dòng)推進(jìn),廢纖維落入一個(gè)方便的集水盤。除了易 于使用外,自動(dòng)纏繞系統(tǒng)還允許在一個(gè)工藝循環(huán)中控制沉積任何厚度的碳膜。易于選擇的涂層模式可實(shí) 現(xiàn)安全的涂層,從溫敏樣品薄膜的溫和蒸發(fā)到具有 高功率,適用于光纖應(yīng)用中的厚層。智能功率控制與 脈沖蒸發(fā)、自動(dòng)快門后面的脫氣和膜厚監(jiān)測(cè)相結(jié)合,提供準(zhǔn)確的層厚,并避免任何可能導(dǎo)致表面不均勻的起泡現(xiàn)象。
模塊特點(diǎn):
· 采用創(chuàng)新性的自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)(專li技術(shù))監(jiān)控zui多2米長(zhǎng)的碳絲,通過卷軸收放碳絲。
· 以“常規(guī)"和“柔和"模式發(fā)送脈沖電涌,非常容易地在樣品上實(shí)現(xiàn)快速鍍膜和高精度碳鍍膜,以滿足各種需要。
· 設(shè)有氣體控制器,把用于輝光放電的空氣精確地輸送到基片的表面上。
· 通過精確地等離子體輸出控制,可以廣泛應(yīng)用在改造各種樣品的表面性質(zhì)上。
· 采用統(tǒng)一的電氣和氣體接口,與CCU-010 HV和CCU-010 LV主體機(jī)配套使用。
指 標(biāo) 參 數(shù)
外形尺寸: 250× 160×80 (mm) 模塊重量 :2.6kg
靶材尺寸: 碳繩 控制模式: 微處理器控制
功率: 450W 濺射電流: 10-20A
濺射時(shí)間: ≤900s 濺射氣體 : 氬氣、空氣等(可選)