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2101C型離子減薄儀

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武漢吉普電氣有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品描述：我公司生產(chǎn)經(jīng)銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡（TEM）研制的樣品制備設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述：
我公司生產(chǎn)經(jīng)銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡（TEM）研制的樣品制備設(shè)備。適用于金屬、陶瓷及半導(dǎo)體等固體材料的TEM樣品的減薄與拋光。其由小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)（Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS）（）、高真空系統(tǒng)（High vacuum system, HVS），高壓電源系統(tǒng)（High voltage power system, HVS）、氣動(dòng)快速換樣系統(tǒng)(Pneumatic rapid specimen exchanger)（）以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。
離子減薄儀是TEM（透射電鏡）實(shí)驗(yàn)中制樣的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備使氬氣在高壓電場(chǎng)的作用下電離，產(chǎn)生高能離子束，并通過(guò)高壓電場(chǎng)加速，使氬離子加速并聚焦成小于1mm直徑的離子束，經(jīng)過(guò)聚焦的離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行鏟磨拋光，使樣品的厚度逐漸減小，從而達(dá)到均勻減薄樣品的目的。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，對(duì)離子束無(wú)遮擋。
2.離子束掠射角小，樣品薄區(qū)大。
3.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，樣品減薄速度高。
4.樣品臺(tái)導(dǎo)熱性能好。

主要技術(shù)指標(biāo)：
1.電源:1.2kW AC 220V – 240V 50Hz
2.氣源:>0.1 MPa 氬氣（Ar）
3.高壓電源:0 – 20kV （連續(xù)可調(diào)，短路保護(hù)）
4.離子束電流:0 – 2mA
5.離子束掠射角:0 –90°（雙面）
6.自動(dòng)保護(hù)：高壓電源系統(tǒng)，樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。
7.抽真空速率:分子加速泵 67L/min，前置泵組 150L/min
8.樣品尺寸:3mm 直徑
9.樣品減薄速率:40μm/h(Cu)

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關(guān)鍵詞：離子減薄儀透射電子顯微鏡高壓電源

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