產(chǎn)品詳細(xì)介紹;
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。
技術(shù)參數(shù):
殼體結(jié)構(gòu) | · 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷,使得殼體的表面溫度小于60度 · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 · 可開啟式,更換爐管方便 |
功率 | 5 KW |
電壓 | AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
加熱速率 | ≤20 ℃/min |
石英管& 密封法蘭 | · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) ·
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加熱區(qū)長度 | · 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total) · 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) · 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") · 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系 |
溫控系統(tǒng)
| · 三個精密溫度控制器,可獨立控溫 · PID控制方式,通過PWM固體繼電器。 · 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序. · 帶有過熱和斷偶保護功能 |
控溫精度 | +/- 1℃ |
真空密封系統(tǒng) | · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥). · 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr. · 漏氣率 < 5 m-torr / min
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真空泵 | 采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米
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數(shù)字式真空顯示計 |
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| · 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流 · 三路浮子量程分別為 · 10-100 cc/min. · 16-160 cc/min. · 25-250 cc/min · 內(nèi)部安裝有一混氣罐 · 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力 |
閥門 | 四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量 |
外形尺寸 | · 爐子: 1100 X 450 x 670mm · 底部移動架: 600x600x597mm |
開門斷電 | · 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計
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凈重 | · 約90Kg |
運輸重量 | · 245lbs |
質(zhì)保期 | · 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 |
質(zhì)量認(rèn)證 | · CE certified |
使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃ · 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |