型號(hào):OTF-1200X-4-RTP
產(chǎn)品概述:OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4" 石英管和真空法蘭, 它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片(達(dá)3“)的退火而設(shè)計(jì),采用10KW紅外燈管加熱升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過(guò)RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。
設(shè)備名稱 | 900℃小型RTP爐--OTF-1200X-4-RTP (2019.9.27--科晶實(shí)驗(yàn)室審核) |
產(chǎn)品提示 | 科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 圖片未及時(shí)更新提示 多種配件可選提示 危險(xiǎn)設(shè)備操作提示 |
主要特點(diǎn) | ·快速升溫,達(dá)50℃/s;快速降溫,117℃/min。 ·超大管徑φ110mm。 ·溫度可達(dá)900℃。 ·法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 ·開門斷電。
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操作視頻 展示視頻 |
基本參數(shù) | ·工作溫度:900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(長(zhǎng)期) ·升溫速率:室溫~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s ·降溫速率:60℃/min (<200 mtorr),117℃/min (在一個(gè)大氣壓下) ·法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 ·最慢降溫速率10℃/min ·加熱區(qū)長(zhǎng)度:190mm ·控溫精度:+/-1℃(歐陸表型溫控儀表可達(dá)0.1℃) ·加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW,圖1、2、3) ·熱電偶:可插入式的鎧裝熱電偶,進(jìn)口K型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下 ·功率:9KW(>60A 保險(xiǎn)) ·設(shè)備電源:AC220V/50HZ 單相 ·循環(huán)水流量:0.5 m3/h ·標(biāo)配流量計(jì)量程范圍:16-160 ml/min
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尺寸 | ·760(L)×330(W)×530(H) mm (法蘭關(guān)閉) ·1200(L)×330(W)×530(H) mm (法蘭打開) ·爐膛尺寸:Φ180x190
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重量 | 70Kg |
認(rèn)證 | 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
保修 | 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩 堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和 酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
國(guó)家 | 名稱:一種快速高溫退火爐
編號(hào):ZL-2011-2-0077168.4
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