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1700℃-CVD管式爐

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更新時間：2022-08-01 11:23:23瀏覽次數(shù)：189次

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河南三特爐業(yè)科技有限公司

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產品簡介

【產品名稱】1700℃-CVD管式爐【爐管尺寸】φ25--φ120mm【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1700℃【控溫精度】±1℃ 【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

詳細介紹

商品描述

【產品名稱】1700℃-CVD管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm

【額定溫度】1700℃

【控溫精度】±1℃

【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

一、產品描述

系列產品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優(yōu)質的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性；產品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進氣口和出氣口，可通入保護氣體，精密針型閥可調節(jié)進氣流量。

二、產品特點

1、爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結構，高溫不變形、堅固耐用

2、發(fā)熱體采用硅鉬棒，可承受負荷大，穩(wěn)定且使用壽命長

3、爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸，方便進出被燒結樣品

4、升溫速度快，從室溫升到1700攝氏度，一般需要100分鐘

5、采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補償和溫度校正功能，精度為±1℃

6、控溫儀表具有程序功能，可設定升溫曲線，可編程序30段

7、一體式結構，外觀設計，美觀、大方

8、電子元器件均采用產品，帶有漏電保護功能，安全可靠

9、本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號，并自動完成保護動作

10、當儀表程序設定完成后，只要按下運行按鈕，接下來的工作會自動完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印

12、可選配氣體質量流量計，通入氣體可數(shù)字精確控制

型號	STGC-25-17	STGC-40-17	STGC-60-17	STGC-80-17	STGC-100-17	STGC-120-17
爐管尺寸	Φ25 x 900mm	Φ40 x 900mm	Φ60 x 900mm	Φ80 x 900mm	Φ100 x 900mm	Φ120 x 900mm
額定溫度	1700℃
工作溫度	1600℃
加熱區(qū)尺寸	300mm
電源電壓	220V/2KW	220V/3KW	220V/4KW	220V/5KW	220V/5KW	220V/8KW
加熱元件	U型硅鉬棒
爐膛材料	濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料
爐管材料	剛玉管
控溫精度	±1℃
測溫元件	B型鉑銠熱電偶
溫控儀表	智能微電腦PID溫控儀表，SCR/SSR控制，PID參數(shù)自整定功能；可編程序30個時段，程序升溫、程序保溫、程序降溫
升溫速度	1-15℃/min自由調節(jié)
爐體結構	爐膛溫控一體式結構，雙層外殼，空氣循環(huán)隔熱
密封性能	爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作，密封真空度≤0.0001pa
氣氛性能	法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調節(jié)進氣和出氣量，可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體
真空獲得	配套獨立的真空獲得系統(tǒng)，系統(tǒng)內配有1臺雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計，包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件，系統(tǒng)真空度≤5pa，還可以選擇分子泵機組
氣路系統(tǒng)	配套獨立的氣路系統(tǒng)，系統(tǒng)有三路浮子流量計組成，有混氣室，可單進單出也可三路氣體混氣后進入管式爐系統(tǒng)，浮子流量計量程：60-600ml/min；也可選擇自動質量流量計系統(tǒng)，控制精度±1.5%FS，重復精度±0.2%FS，量程：一路0-100SCCM，二路0-200SCCM，三路0-500SCCM
設備保護	模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發(fā)出聲光報警信號，并自動完成保護動作
安全保護	在設備上裝有空開斷路器，如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設備和操作人員的安全
外殼	優(yōu)質冷軋鋼板數(shù)控機床下料加工，經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉
質量認證	ISO9001 CE SGS TUV
標準配置	1、爐體一臺 2、溫度控制器一臺 3、電源線3米 4、熱電偶一支 5、說明書一份 6、爐鉤一把 7、高溫手套一雙 8、管堵二個 9、密封法蘭一套