適用范圍:
※ 配置不同濃度的,用于校準的標準樣品;
※ 提供用于不間斷分析的標準樣品;
※ ppb級別標準樣品的制備;
※ 四路氣源(一路稀釋氣體,三路標準氣體)供氣,精確配置出ppb級別含量的各種標準氣體;
※ 四路MFC流量控制;
※ 可直接與分析設(shè)備連接,在線控制標準氣體的配置;
※ 采用觸摸屏輸入方式,操作簡便快捷。
※ 可通過通訊端口遠程控制各路氣體流量大小及開關(guān)供氣,實現(xiàn)無人值守。
項目 | 描述 |
MFC | 調(diào)節(jié)范圍(SCCM):0-1000 |
分辨率(SCCM):1 | |
流量示值誤差:≤±1% | |
流量穩(wěn)定性:≤0.6% | |
流量重復(fù)性:≤1/3流量示值誤差 | |
稀釋比例 | 1:20-1:1000 |
環(huán)境溫度 | 15℃-30℃ |
尺寸 | 230(W)*425(D)*400mm(H) |