技  術(shù)  參  數(shù)

序號

項目名稱

詳細參數(shù)

1

主要應(yīng)用

1.表面清潔  2.表面活化  3.鍵合  4.去膠  5.金屬還原  6.簡單刻蝕  7.去除表面有機物  8.疏水實驗   9.鍍膜前處理等

2

主要特點

1．實時檢測和顯示真空度，真空度準確使得機器在智能控制下有了可靠的依據(jù)

*2．艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防腐蝕

*3.采用電容式 Plasma激發(fā)，實驗效果穩(wěn)定，均勻可靠

*4．采用薄膜按鍵+液晶屏顯示控制，手動，自動兩種模式任意切換

5．程序化設(shè)計，預(yù)先編輯好程序，儀器自動完成實驗

6.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可，密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染

3

技術(shù)規(guī)格

艙體尺寸： 255X150（直徑）mm ，不銹鋼艙體

頻率：13.56MHz 頻率偏移量＜0.2MHz  電源220V/50Hz

射頻功率:150W，10到150W無極可調(diào)，精度：1瓦

時間設(shè)定：1秒到99分59秒

?氣體穩(wěn)定時間：60秒  氣路設(shè)置：內(nèi)置兩路MFC控制

外形尺寸: 552X590X295mm 整機重量： 28Kg

4

基本配置

主機 + 真空系統(tǒng)（真空泵 油霧過濾器  真空管  法蘭） + 外加氣體軟管   樣品托盤 + 說明書 + 電源線 + 合格證