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性能

可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)
艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)

配件（需另行訂購(gòu)）

過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
Flow Vision軟件

查找配件

型號(hào)變體

標(biāo)準(zhǔn)配置型號(hào)，160 psia（MC系列）
高壓應(yīng)用型號(hào)：160-320 psia（MCQ系列）

閥門(mén)選項(xiàng)

您可以為您的MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門(mén)，以確保在預(yù)期過(guò)程條件下保持性能。

MCW系列—選配小型比例控制閥，適用于2 slpm及以下量程
MCPW系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對(duì)耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCHW系列—選配錘頭狀配置，將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)。
MCRW系列—選配幾乎無(wú)摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm及以上流量

結(jié)構(gòu)選項(xiàng)

通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹(shù)脂）

性能選項(xiàng)

流量累加器
集成式電位計(jì)控制
高精度或自定義校準(zhǔn)

查看所有選擇項(xiàng)目

MCW
MCPW
MCHW
MCRW

艾里卡特MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門(mén)控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D

艾里卡特MCPW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用孔徑的小型閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。

MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D

艾里卡特MCHW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器將兩個(gè)小型閥門(mén)并排成對(duì)，用作一個(gè)閥門(mén)，適用于非腐蝕性氣體。

MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D

艾里卡特MCRW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無(wú)摩擦的Rolamite閥門(mén)，可選用各種孔徑，實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。

MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR

快速泄漏測(cè)試

對(duì)閥門(mén)或傳感器等體積較小的元件進(jìn)行泄漏測(cè)試時(shí)，將一臺(tái)MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)置在壓力控制模式，使其在實(shí)時(shí)提供準(zhǔn)確的質(zhì)量流量和體積流量讀數(shù)的同時(shí)，還能確保被測(cè)試裝置保持恒定壓力。按照此種配置方法，僅一臺(tái)MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器便能執(zhí)行壓力控制器和質(zhì)量流量計(jì)的功能。

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