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美國艾里卡特科技有限公司

MC系列氣體質量流量控制器

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

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更新時間:2022-03-19 10:53:41瀏覽次數:2197次

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多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業(yè)網絡中。耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性,我們可為您的質量流......

性能

  • 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,參見零件編號標簽)
  • 可調比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
  • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
  • 可重復性:0.2%滿量程
  • 標準質量流量控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節(jié)功能,可縮短至25ms)
  • 無需預熱時間

工作條件

  • 兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
  • 工作溫度:-10°C至+60°C
  • 內部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
  • 耐受壓力:175 psig(190 psia)

包裝清單

  • MC系列氣體質量流量控制器(電源需另行訂購)
  • NIST可溯源校準證書
  • 艾里卡特操作說明書

配件(需另行訂購)

  • 過程端口接頭和過濾器
  • 電源
  • 通訊線纜和轉換線纜
  • BB3和BB9多點式集線盒
  • Flow Vision軟件

型號變體

  • 低壓損型號,最多60 psia(MCW系列)
  • 高壓型號,160-320 psia(MCQ系列)
  • 閥門內置(確保與SEMI端口長度一致)型號(MCE系列)
  • 配備氣動截止閥的型號,適合真空應用(MCV系列)
  • 腐蝕性氣體型號(MCS系列,見下文)

閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質量流量控制器定制以下一種閥門,以確保在預期過程條件下保持性能。

  • MC系列—選配小型比例控制閥,適用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥,適用于壓力較高的某些應用
  • MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥(對耐腐蝕系列產品不適用)
  • MCH系列—選配錘頭狀配置,將兩個小型閥門并排成對,用作一個閥門。
  • MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥,適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體(MCS系列)

MC系列氣體質量流量控制器中,還有適用于腐蝕性氣體的“S"系列配置(即MCS系列)可供選擇。該配置中,我們將閥門升級為303不銹鋼閥門,傳感器升級為316L不銹鋼傳感器,彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程,需采用316L不銹鋼,在這種情況下,我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門(PCA型)和流量儀表主體部分升級為316L材質。

結構選項

  • 通訊協議(模擬通訊,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 顯示屏(單色或彩色,內置或面板安裝)
  • 工藝連接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭)
  • 彈性體材料(氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂)

性能選項

  • 流量累加器
  • 集成式電位計控制
  • 高精度或自定義校準

艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。

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艾里卡特MCP系列氣體質量流量控制器采用孔徑的小型閥門,適用于非腐蝕性氣體。

MCP-10SLPM-D
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MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列氣體質量流量控制器將兩個小型閥門并排成對,用作一個閥門,適用于非腐蝕性氣體。

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
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MCPH-50SLPM-D
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艾里卡特MCR系列氣體質量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實現對較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。

MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
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MCR-3000SLPM-D-PAR
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艾里卡特MCS系列氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量,適用于腐蝕性氣體。

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艾里卡特MCHS系列氣體質量流量控制器適用于腐蝕性氣體,將兩個閥門并排成對,用作一個閥門,實現對高壓應用的更強大控制。

MCHS-10SLPM-D
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MCHS-250SLPM-D
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艾里卡特MCRS系列氣體質量流量控制器適用于腐蝕性氣體,采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實現對較大流量的控制。

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氣體噴射控制pH

在跨度極寬的量程范圍內迅速調整并控制質量流量以符合不斷變化的應用需要。根據PLC或PC的數字反饋,實時更改流量設定值,保持氣體質量流量控制器過程工藝條件。

 

自定義氣體混合系統(tǒng)

艾里卡特的質量流量控制器非常適用于構建自定義氣體混合系統(tǒng);在這種類型應用中,可充分發(fā)揮氣體質量流量控制器固有的靈活性和適應性。

 

高溫質量流量控制

艾里卡特的遠程電子器件選項將電子器件與傳感器和氣體質量流量控制器主體部分分隔開來。這允許流動的高溫氣體通過氣體質量流量控制器的主體部分,且不會使控制器電子器件超出其設計溫度。

 

選擇COMPOSER氣體混合校準固件

準確的。在不影響Alicat精度的前提下,為多達5種組成氣體中的每一種

MCDW系列低壓損雙向氣體質量流量控制器

多功能。MCDW系列低壓損雙向氣體質量流量控制器利用正壓或真空控制一個

LC系列液體流量控制器

多功能。LC系列液體流量控制器具有NIST可溯源精度,或者能夠同時控制

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