艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
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MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
艾里卡特MCP系列氣體質量流量控制器采用孔徑的小型閥門,適用于非腐蝕性氣體。
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
艾里卡特MCH系列氣體質量流量控制器將兩個小型閥門并排成對,用作一個閥門,適用于非腐蝕性氣體。
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
艾里卡特MCR系列氣體質量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實現對較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
艾里卡特MCS系列氣體質量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量,適用于腐蝕性氣體。
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
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MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
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MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
艾里卡特MCHS系列氣體質量流量控制器適用于腐蝕性氣體,將兩個閥門并排成對,用作一個閥門,實現對高壓應用的更強大控制。
MCHS-10SLPM-D
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MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
艾里卡特MCRS系列氣體質量流量控制器適用于腐蝕性氣體,采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實現對較大流量的控制。
MCRS-50SLPM-D
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