CCCL01微納尺寸測(cè)量?jī)x

將顯微成像與傳統(tǒng)影像測(cè)量相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了微小特征的大范圍測(cè)量。配置電動(dòng)變倍鏡頭，可自動(dòng)切換到不同的倍率，探測(cè)各種精密微觀二維尺寸特征。測(cè)量?jī)x功能豐富，擁有自動(dòng)調(diào)色增強(qiáng)圖像效果功能，滿足大范圍測(cè)量拼圖功能，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抓取擬合測(cè)量功能，可進(jìn)行各種二維尺寸點(diǎn)、線、圓等的測(cè)量和形位公差的評(píng)價(jià)，可進(jìn)行各種段差、角度、平面度測(cè)量。

CCCL01微納尺寸測(cè)量?jī)x可用于印制電路板微切片、精密機(jī)械零件、晶圓刻蝕微結(jié)構(gòu)、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機(jī)精密配件、醫(yī)療器械、鐘表、刀具、計(jì)量檢測(cè)等領(lǐng)域。

技術(shù)規(guī)格

表2

注：

*1在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20±1.0℃時(shí)，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)線對(duì)分辨率板。

*2在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20±1.0℃時(shí)，測(cè)量微納米標(biāo)準(zhǔn)板。

*3在調(diào)焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時(shí)，測(cè)量微納米標(biāo)準(zhǔn)板。

*4為Z軸機(jī)械精度，采用鏡頭聚焦測(cè)高的精度依賴于工件表面。

*5需選配光學(xué)高度測(cè)量傳感測(cè)頭。