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常州藍陽環(huán)保設備有限公司

主營產(chǎn)品: 活性炭再生設備,活性炭吸附催化燃燒,活性炭脫附催化燃燒

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集成電路行業(yè)廢氣凈化設備
集成電路行業(yè)廢氣凈化設備
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  • 所在地 常州市

更新時間:2022-05-10 15:54:06瀏覽次數(shù):292

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【簡單介紹】
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集成電路行業(yè)廢氣凈化設備:集成電路制造行業(yè)的VOCs來源主要集中化在揮發(fā)性有機溶劑的使用、運輸、貯藏上。承載過程包括有機溶劑的原料承載和廢有機溶劑的承載過程、溶劑罐與槽車的接口等有機溶劑揮發(fā)。有機溶劑的貯藏主要包括罐的貯藏、化學品桶的貯藏和瓶裝的貯藏。有機溶劑罐的排氣、貯藏中的不密封或意外泄漏也是VOCs的來源。


集成電路制造行業(yè)VOCs的主要來源

集成電路制造行業(yè)的VOCs來源主要集中化在揮發(fā)性有機溶劑的使用、運輸、貯藏上。承載過程包括有機溶劑的原料承載和廢有機溶劑的承載過程、溶劑罐與槽車的接口等有機溶劑揮發(fā)。有機溶劑的貯藏主要包括罐的貯藏、化學品桶的貯藏和瓶裝的貯藏。有機溶劑罐的排氣、貯藏中的不密封或意外泄漏也是VOCs的來源。


集成電路行業(yè)VOCs的主要成分

集成電路行業(yè)有機廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮,這兩種物質(zhì)達到VOCs的主要成分為80%-100%,其中異丙醇占55%以上,丙酮占5%-34%。


集成電路行業(yè)VOCs廢氣處理方法。

集成電路行業(yè)廢氣主要成分VOCs廢氣,目前VOCs廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解法。


(1)活性炭吸附法。

吸附法的主要原理是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅、分子篩等)處理有機廢氣,通過化學鍵力和分子引力充分吸附有害成分,吸附在吸附劑的表面,達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用于大風量、低濃度、無顆粒、無粘性、常溫低濃度有機廢氣凈化處理。

活性炭凈化率高(活性炭吸附可達95%以上),實用,操作簡單,投資低。吸附飽和后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費用,更換飽和后的活性炭也需要委托專家進行危險廢棄處理,運行費用高。

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(2)燃燒法。

燃燒法只在揮發(fā)性有機物在高溫和空氣充足的條件下*燃燒,分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各種有機廢氣,可分為直接燃燒、熱燃燒和催化燃燒。

排放濃度在5000mg/m以上的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法,該方法將VOCs廢氣作為燃料燃燒,燃燒溫度一般控制在1100℃,處理效率高,達到95%-99%。

熱燃法適用于處理濃度為1000-5000mg/m的廢氣,采用熱燃法,廢氣中VOCs濃度低,需要利用其他燃料和助燃氣體,熱燃所需的溫度比直接燃燒低,約為540-820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高,但VOCs廢氣含有S、N等要素,燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接排出會造成二次污染。

熱燃燒和催化燃燒法處理有機廢氣,凈化率高,但投資運營成本較高。廢氣排放點多,分散,集中收集困難。燃燒裝置需要多套且占地面積大。熱燃燒適用于24小時連續(xù)運轉(zhuǎn)、濃度高、穩(wěn)定的廢氣狀況,不適用于間歇性生產(chǎn)線狀況。催化燃燒的投資和運營費用比熱燃燒低,但凈化效率也比較低,但貴金屬催化劑容易因廢氣中的雜質(zhì)(硫化物等中毒而失效,更換催化劑的費用也比較高,同時對廢氣進氣條件的控制非常嚴格,催化燃燒室堵塞引起事故。



(3)UV光解法。

UV光解凈化法利用高能量UV紫外光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧(即活性氧),由于游離氧攜帶的正負電子不平衡,需要與氧分子結(jié)合,產(chǎn)生臭氧,臭氧具有較強的氧化性,臭氧協(xié)同有機廢氣、惡臭氣體的光解氧化作用,將有機廢氣、惡臭氣體物質(zhì)分解轉(zhuǎn)化為低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解法具有很高處理效率,可達95%以上的適應性強,適應中低濃度、大氣量、不同有機廢氣和惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理產(chǎn)品性能穩(wěn)定,運行穩(wěn)定,每天24小時連續(xù)工作UV光解法由于采用光解原理,模塊采用隔爆處理,消除了隱患,防火、防爆、防腐蝕性能高,設備性能穩(wěn)定,特別適用于采油(氣)田、石油化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。

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