電子工業(yè)用超純水概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
我公司現(xiàn)采用工藝,反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水,zui環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境無破壞性。
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
我公司現(xiàn)采用工藝,反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水,zui環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境無破壞性。
功 能
脫鹽率高,運行壓力低的進口超低卷式復合反滲透膜,產水水質優(yōu)良,運行成本低廉,使用壽命長。
高效率,低噪音,品質*的進口高壓泵,減少能耗,降低運行噪聲。
進口在線原水及產品水電導儀,PH表可隨時監(jiān)測水質情況。
進口在線產品水,濃水流量計可隨時監(jiān)測產品水量及系統(tǒng)回收率。
配置自動循環(huán)沖洗系統(tǒng),以備膜污染后清洗之用。
快沖閥定時沖洗膜表面,降低膜污染速度,延長使用壽命。
降TOC紫外線 裝置可有效降低TOC90%。
膜脫氣裝置可使脫氣后水中溶解的氧DO小于5ppb。
運行參數(shù)
單機出力:0.5M3/h-120M3/h
脫鹽率:反滲透系統(tǒng)98%
操作壓力:1Mpa-1.2Mpa
回收率:60%-80%
產品出水電陰率:16-18MΩ.cm
脫鹽率高,運行壓力低的進口超低卷式復合反滲透膜,產水水質優(yōu)良,運行成本低廉,使用壽命長。
高效率,低噪音,品質*的進口高壓泵,減少能耗,降低運行噪聲。
進口在線原水及產品水電導儀,PH表可隨時監(jiān)測水質情況。
進口在線產品水,濃水流量計可隨時監(jiān)測產品水量及系統(tǒng)回收率。
配置自動循環(huán)沖洗系統(tǒng),以備膜污染后清洗之用。
快沖閥定時沖洗膜表面,降低膜污染速度,延長使用壽命。
降TOC紫外線 裝置可有效降低TOC90%。
膜脫氣裝置可使脫氣后水中溶解的氧DO小于5ppb。
運行參數(shù)
單機出力:0.5M3/h-120M3/h
脫鹽率:反滲透系統(tǒng)98%
操作壓力:1Mpa-1.2Mpa
回收率:60%-80%
產品出水電陰率:16-18MΩ.cm