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海納光學(xué)代理的法國PHASICS是一家波前傳感器生產(chǎn)廠家，它具有雄厚的技術(shù)研發(fā)實(shí)力和研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，*可以為客戶提供的各種自適應(yīng)的光學(xué)系統(tǒng)（Adaptive Optics Loops) OA-SYS。同時(shí)，設(shè)計(jì)個(gè)性化解決方案，并且根據(jù)客戶應(yīng)用的需求，向客戶提供合適的可變形鏡，SID4波前傳感器、空間光調(diào)制器或者自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)操作軟件等。

法國PHASICS公司擁有自主研發(fā)的法國Phasics 波前傳感器-波前分析儀，這種儀器是基于四波橫向剪切干涉技術(shù)而設(shè)計(jì)的。SID4系列波前探測器與傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測器比較，法國Phasics波前分析儀具有高動態(tài)檢測范圍、消色差、高分辨率、消色差、操作簡便，高靈敏度等優(yōu)勢?？梢韵虿ㄇ盎?、波前相差探測以及光束質(zhì)量及波前參數(shù)的測量、分析；眼科的虹膜定位以及波前像差引導(dǎo)等提供了完整的解決方案！PHASICS波前探測器軟件界面具有易用性，能夠明了的輸出高分辨率的相位圖和光束強(qiáng)度的分布圖。

本文的產(chǎn)品主要有：適用于常用波段的SID4波前傳感器;  用于紅外波段的型號：SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR; 高分辨率的SID4 UV-HR,  SID4-HR； 深紫外波段的SID4-UV和SID4 UV-HR。所有的波段都能夠有適合的產(chǎn)品為您提供，并且有高采樣點(diǎn)的型號和普通標(biāo)準(zhǔn)的型號等等。
法國Phasics 波前傳感器-波前分析儀

法國Phasics SID4 波前傳感器的特點(diǎn)：
SID4可用于400nm-1000nm 的激光的波前像差，強(qiáng)度分布，波前位相、澤尼克參數(shù), 激光的M2等進(jìn)行實(shí)時(shí)的測量及參數(shù)輸出。
-可直接測量：消色差設(shè)計(jì)，測量前無需再次對波長校準(zhǔn)，消色差：干涉和衍射對波長相消
-高分辨率：更多采樣點(diǎn)可達(dá)120000個(gè)（160x120），測量穩(wěn)定性高
-內(nèi)部光柵橫向剪切干涉，防震設(shè)計(jì)，無需隔震平臺也可測試，對實(shí)驗(yàn)條件要求簡單
-高動態(tài)范圍：高達(dá)500μm
-波長范圍：400-1100nm

SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器的特點(diǎn)：
PHASICS公司將 SID4的測量波長范圍:190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前探測器,非常適用于光學(xué)元件測量（例如印刷、半導(dǎo)體等等）和表面檢測（半導(dǎo)體晶片檢測等）。
-高分辨率（250x250）
-通光孔徑大（8.0mmx8.0mm）
-覆蓋紫外光譜
-靈敏度高（0.5um）
-優(yōu)化信噪比
SID4-HR 波前相差儀特點(diǎn)：
能夠進(jìn)行對透鏡、光學(xué)系統(tǒng)實(shí)時(shí)的PSF（點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)）、OTF（光學(xué)傳遞函數(shù)）、MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）以及波前像差測量和參數(shù)輸出。與傳統(tǒng)的透鏡檢測設(shè)備比較：干涉儀，傳函儀、具有測量精度高，操作簡便，參數(shù)輸出方便等優(yōu)勢。
-曝光時(shí)間極短,保證動態(tài)物體測量
-波長范圍：400-1100nm
-實(shí)時(shí)測量，立即給出整個(gè)物體表面的信息（120000個(gè)測量點(diǎn)）
-高性能的相機(jī)，信噪比高，操作簡單

SID4 NIR 波前分析儀
其主要針對1550 nm（1.5um-1.6um）激光進(jìn)行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等*的優(yōu)勢。是紅外透鏡像差，光學(xué)測量和紅外物體、MTF，PSF以及焦距和表面質(zhì)量測量的理想工具。
-高分辨率（160x120）
-快速測量
-測量
-對振動不敏感
-性價(jià)比高

SID4 UV 波前分析儀
其主要針對250-450nm激光進(jìn)行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等*的優(yōu)勢。適用于UV光學(xué)測試，UV激光表征（用于光刻，半導(dǎo)體......）和表面檢測（透鏡和晶圓......）光學(xué)測量和MTF，PSF以及焦距測量。
-非常高的分辨率-250×250相位圖
-高靈敏度 - 2 nm RMS
-經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的紫外波前測量解決方案
SID4 DWIR/ SID4 LWIR/ SID4-SWIR波前儀
擁有寬波段波前探測的特點(diǎn)。實(shí)時(shí)的檢測3-5um以及8-14um的強(qiáng)度分布和波前位相等的波前信息?？梢院芎玫膽?yīng)用于紅外波段應(yīng)用的波前檢測需求。
-光學(xué)測量：SID4 DWIR是測量紅外物體特性（熱成像和安全視覺）或紅外透鏡（CO2激光器）的理想工具，輸出結(jié)果包括MTF，PSF，像差，表面質(zhì)量和透鏡焦距。
-光束測量：（CO2激光器，紅外OPO激光光源等等）此型號可以提供詳盡的光束特性參數(shù)：M2，像差，光束特性，光強(qiáng)分布等
-可實(shí)現(xiàn)離軸測量，可實(shí)現(xiàn)測量，性價(jià)比高
-高分辨率（96x72，快速測量 對振動不敏感
-可覆蓋中紅外和遠(yuǎn)紅外波段 大數(shù)值孔徑測量，無需額外中轉(zhuǎn)透鏡

法國Phasics波前相差儀主要應(yīng)用：
-光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量分析：MTF, PSF, EFL, 澤尼克系數(shù), 光學(xué)鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制
-激光光束參數(shù)測量：相位（2D/3D），M2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)
-生物應(yīng)用：蛋白質(zhì)等組織定量相位成像
-自適應(yīng)光學(xué)：焦斑優(yōu)化，光束整形
-熱成像分析，等離子體特征分析
-元器件表面質(zhì)量分析：表面質(zhì)量（RMS，PtV，WFE），曲率半徑

法國Phasics波前探測器參數(shù)規(guī)格對比
型號 SID4 SID4-HR SID4-DWIR SID4-SWIR SID4-NIR SID4 UV-HR SID4-UV SID4 V Vacuum SID4 LWIR
孔徑mm 3.6×4.8 8.9×11.8 13.44×10.08 9.6×7.68 3.6×4.8 8.0 x 8.0 7.4×7.4 4.73x3.55 16x12
分辨率μm 29.6 29.6 68 120 µ 29.6 32 29.6 29.6 100
采樣點(diǎn) 160 × 120 400×300 160 × 120 80 × 64 160 × 120 250 x 250 250×250 160x120 160x120
波長 nm 400-1100 400-1100 3~5µm
8~14µm 0.9~1.7µm 1.5~1.6µm 190-400 250~450 400-1100 8-14 µm
動態(tài)范圍 >100µm >500µm N/A ~ 100µm > 100µm  >200µm  
精度nmRMS 10 15 75 10 > 15 10 20 15 25
靈敏度（同上） < 2 < 2 < 25<3/1 < 11 0.5 2 15 75
采樣頻率fps > 60 >10 >50 25-60 60 > 30 30 60 24
處理頻率Hz 10 3 20 > 10 10 1 fps > 2 7 >10fps
尺寸mm 54×46×75.3 54×46×79 85×116×179 50×50×90 44×33×57.5 95x105x84 53×63×83 54x46x75.3 96x110x90
重量 g 250 250 1.6kg 300 250 ~900 450 250 850

夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表
Phasics剪切干涉
夏克哈特曼  區(qū)別
技術(shù)  四波側(cè)向剪切干涉  夏克-哈特曼  PHASICS SID4是對夏克-哈特曼技術(shù)的改進(jìn)，投放市場時(shí)，已經(jīng)申請技術(shù) patent，售出超過500個(gè)探測器。
重建方式  傅里葉變換  分區(qū)方法（直接數(shù)值積分）或模式法（多項(xiàng)式擬合）  夏克-哈特曼波前探測器，以微透鏡單元區(qū)域的平均值來近似。對于大孔徑的透鏡單元，可能會增加信號誤差，在某些情況，產(chǎn)生嚴(yán)重影響。在分區(qū)方法中，邊界條件很重要。
光強(qiáng)度  由于采用傅里葉變換方法，測量對強(qiáng)度變化不敏感  由于需要測量焦點(diǎn)位置，測量對強(qiáng)度變化靈敏  關(guān)于測量精度，波前測量不依賴于光強(qiáng)度水平
使用、對準(zhǔn)方便  界面直觀，利用針孔進(jìn)行對準(zhǔn)  安裝困難，需要精密的調(diào)節(jié)臺  SID4 產(chǎn)品使用方便
取樣（測量點(diǎn)）  SID4-HR達(dá)300*400測量點(diǎn)  128*128測量點(diǎn)（微透鏡陣列）  SID4-HR具有很高的分辨率。這使得測量結(jié)果更可靠，也更穩(wěn)定
數(shù)值孔徑  SID4 HR NA：0.5  0.1  SID4-HR動態(tài)范圍更高
空間分辨率  29.6μm  >100μm  SID4-HR空間分辨率更好
靈敏度  2nmRMS  約λ/100  SID4-HR具有更好的靈敏度

總體而言，在空間分辨率和靈敏度而言基于剪切干涉技術(shù)的波前分析儀都比夏克哈特曼為基礎(chǔ)的波前分析儀要更為superior。采樣點(diǎn)更多，準(zhǔn)確度更高分辨率也更高。安裝便捷，配套的軟件功能豐富?；诟道锶~變換，將時(shí)域轉(zhuǎn)換為頻域分析使得其不依賴光強(qiáng)變化，更加的敏感，但可能不能估計(jì)光強(qiáng)的變化。一定條件下，它是選擇作為激光質(zhì)量分析，透鏡質(zhì)量監(jiān)控，光學(xué)表面測量，以及成像的更優(yōu)選擇。